1、首选采样点的平均粒子浓度,C1+C2+……Cn,A = ————————— N,式中:A:某一采样点的平均粒子浓度(粒/m3) C1:某一采样点的粒子浓度(粒/m3) C2:某一采样点的采样次数(次)。
2、置信上限: UCL=M+t×SE,式中:UCL:平均值均值的95%置信上限(粒/m3); t:95%置信上限的t 分布系数(见下表);95%置信上限的t 分布系数,采样点L 2 3 4 5 6 7 8 9 ≥9,T 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86
3、平均值的均值: A1+A2+……AL,M = —————————— L,式中:M:洁净区的平均粒子浓度,即平均值的均值;(粒/m3) L:某一洁净室内的总采样点数(个)。
4、标准误差,式中:SE:平均值均值的标准误差,(粒/m3)
注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL,